此次參展，天準重點展出 TB 系列明場納米圖形晶圓缺陷檢測設備與 DaVinci 系列套刻精度測量設備，彰顯了公司在量檢測設備自主研發領域的技術實力。

TB 系列明場納米圖形晶圓缺陷檢測裝備為全自動寬波段圖形晶圓檢測系統，可為200mm/300mm 晶圓提供高效、高靈敏度的缺陷檢測，可廣泛應用在前道、后道各工藝層中，滿足不同工藝節點缺陷檢測需求。目前已推出 TB1100、TB1500 和TB2000 三款機型，分別覆蓋 180-65nm、55-40nm 及 28-14nm 工藝節點。

DaVinci 系列適用于 40nm 及以上制程節點所有層次的套刻精度量測，具備高精度、高重復性及高深寬比測量性能。

在專場技術演講中，天準以《國產明場納米圖形晶圓缺陷檢測設備助力集成電路制造良率提升》為題，分享了公司在前道檢測領域的自主創新能力與戰略布局，現場反響熱烈。

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天準在電子領域，作為全球視覺裝備核心供應商，提供高端視覺測量、檢測、制程裝備。在半導體領域，深度布局前道量檢測，提供納米級晶圓缺陷檢測、套刻與關鍵尺寸測量等核心制程控制裝備。在新汽車與機器人領域，提供高階智能駕駛方案、具身智能方案及智能裝備等產品。

天準憑借高效可靠的產品能力，幫助工業客戶提升競爭優勢，推動智能工業生態鏈的融合創新。